Odpařovací optický potahovač s pomocí iontového paprsku
Popis
Jedná se o špičkové zařízení pro přípravu ultra vysoce přesných optoelektronických zařízení. Se zaměřením na vysoce kvalitní optický povlak má extrémně nízkou hodnotu rozptylu a hustotu defektů. Vhodné pro vysoce přesnou výrobu povlaků v náročných aplikacích, jako je laser, optická komunikace, letecký a kosmický průmysl, biomedicína, automobilová optika, senzory MEMS a polovodiče.
aplikace
Modré sklo a bílé sklo IR-CUT, modré sklo a bílé sklo AR, pryskyřičná čočka AR, periskopový pravoúhlý hranol atd.
Funkce
- Standardní stroj pro hromadnou výrobu
- Online monitor v reálném čase
- Plně autonomní optické ovládání
- Návrh otevřeného procesu
- RISE RF iontový zdroj: proud iontového paprsku je přesný a ovladatelný, s dlouhou nepřetržitou pracovní dobou, vhodný pro různé pracovní plyny a bez znečištění vrstvy filmu.
- Jedinečný zdroj plazmy: radiofrekvenční pohon, provoz bez spotřebního materiálu, poskytující čisté kyslíkové ionty, zajišťující vynikající spektrální indikátory ve specifických pásmech.
- Ovládání světlem: Přesnost kontroly vytváření filmu řízená světlem: 0.{1}.3 %, s jedinečnou strukturou a efektivním designem optické dráhy, shromažďováním ultravysokorychlostních spektrálních dat v reálném čase a nezávisle vyvinul inteligentní, světlem řízený jádrový algoritmus.
- Inovativní řídicí systém: Otevřená modulární architektura systému, inteligentní řídicí systém založený na ARM, přátelská interakce mezi člověkem a strojem, podpora IoT a architektury cloud computingu.
Technické parametry
|
Modelka |
OPIE1550 |
|
|
Vakuová místnost |
SUS304, φ1550mmx1600mm(H) |
|
|
Vakuový systém |
4 molekulární pumpy +1 sada mechanické pumpy/kořenové pumpy |
|
|
Stojan na obrobky |
průměr kotouče obrobku 1460 mm, rychlost otáčení 0-30 ot./min |
|
|
Zdroj páry |
2 sady elektronických zbraní (duální pistole, duální skenování, dvojitá vlákna, 270-úhel odchylky paprsku stupně, výkon 10 kW) |
|
|
Depoziční systém |
RISE radiofrekvenční iontový zdroj + speciální plazmový zdroj (volitelně) |
|
|
Kontrolní systém |
Inteligentní řídicí systém vakuového nanášení |
|
|
Monitorovací systém |
Systém monitorování tloušťky krystalového filmu |
konfigurováno podle specifických požadavků, standardní konfigurace |
|
Optický tenkovrstvý monitorovací systém v reálném čase |
samostatně vyvinutý optický řídicí systém (široké spektrum, jedna vlnová délka) volitelný |
|
|
Systém hlubokého chlazení |
výkon kompresoru 10KW, teplota chlazení cívky<-130°C |
|
Populární Tagy: iontový paprsek asistovaná depozice odpařovací optická potahovací jednotka, Čína výrobci optických potahovacích zařízení s asistovanou depozicí iontovým paprskem, továrna
